สำนักงานรัฐมนตรี สำนักงานปลัดกระทรวงอุตสาหกรรม กรมโรงงานอุตสาหกรรม กรมส่งเสริมอุตสาหกรรม กรมอุตสาหกรรมพื้นฐานและการเหมืองแร่ สำนักงานคณะกรรมการอ้อยและน้ำตาลทราย สำนักงานมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม สำนักงานเศรษฐกิจอุตสาหกรรม การนิคมอุตสาหกรรมแห่งประเทศไทย

ส่วนราชการที่อยู่ในบังคับบัญชาขึ้นตรงรัฐมนตรี สำนักงานคณะกรรมการส่งเสริมการลงทุน